淺談重慶特種氣體用途及應用行業(yè)
2021-09-15
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重慶特種氣體,氣體工業(yè)名詞,是指對氣體有特殊要求的高純氣體、純氣體或由高純簡單氣體制得,應用于特定L領域的二元或多元混合氣體。重慶特種氣體種類很多,通常可以分為標準氣體、電子氣體、環(huán)保氣體、焊接氣體、醫(yī)用氣體、殺菌氣體等,廣泛應用于石油化工、有色金屬冶煉、電力、電子、采礦、鋼鐵、熱能工程、環(huán)境監(jiān)測、生物化學、醫(yī)學研究和診斷、食品保鮮等領域。
有哪些重慶特種氣體?重慶特種氣體主要有:甲烷、正戊烷、乙烯、正丁烷、正丁烯、異丁烯、異戊烷、異丁烷、乙烷、一氧化氮、一氧化碳、一氟甲烷等。
重慶特種氣體有高純氣體、電子氣體和標準氣體三種,廣泛應用于電子半導體、醫(yī)療、化工、環(huán)保裝備制造等領域。到目前為止,重慶特種氣體中有260種單位純氣體。以下是一些常見的重慶特種氣體:
1、氮氣-N2,純度要求>99.999%,用于外延、擴散、化學氣相沉積、離子注入、等離子干蝕刻、光刻、退火、研磨、燒結等工藝,用作在線儀表標準氣體、標準氣體、零點氣體和平衡氣體。在半導體器件制造過程中,氮還用于食品包裝、電器和化學等行業(yè)。
2、氧氣-O2,>99.995%,用作標準氣體在線儀表的校準氣體、標準氣體和零點氣體;也可用于半導體器件制造工藝中的熱氧化、擴散、化學氣相沉積、等離子干法刻蝕等工藝,用于醫(yī)用氣體以及用于光纖的制備。
3、氬氣-Ar,>99.999,用于半導體器件制備過程中的晶體生長、熱氧化、外延、擴散、氮化、噴涂、等離子干法刻蝕、載流、退火、研磨、燒結等過程;用作標準氣體、零點氣體和平衡氣體;氫氣也用于工業(yè)氣體混合物和特殊氣體混合物。
4、氫氣-H2,>99.999%,用作零點氣體、標準氣體、平衡氣體、校準氣體和在線儀表標準氣體;它用于半導體器件制造過程,如晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢、離子注入、載流、燒結等,在化工、冶金等行業(yè)也很有用。
5、氦氣-He,>99.999%,用作零點氣體、標準氣體、平衡氣體、校準氣體和醫(yī)用氣體;半導體器件制備過程中的晶體生長、等離子體干法刻蝕、載流等工藝;此外,還常用特種混合氣體和工業(yè)混合氣體。
重慶特種氣體是指在特定的L域中應用的對純度、品種和性能有特殊要求的氣體。隨著科學研究、國防工業(yè)、自動化技術和精密檢測(特別是微電子技術)的發(fā)展,重慶特種氣體廣泛應用于半導體、發(fā)光二極管、光纜等新興產業(yè),已成為工業(yè)氣體市場增長的新動力。